노광장치(Hakuto社)
Hap 1100ST

■솔더 레지스트 공정의 과제 해결
■기판에 변형이 있어도 필름 마스크가 조정
■고조도에 의한 높은 업무 처리량
위치 맞춤 정밀도(반복) | < 10㎛ | |
생산성 | 19초 + 노광시간 | |
최대기판사이즈 | W610 X L510mm | |
평행광광원 (초고압수은램프사용) |
광원 | 10kw, 램프 2개 |
조도 | > 80mw / ㎠ | |
평행반각 | ≤ 2.0° | |
경사각 | ≤ 1.5° | |
조도분포 | ≥ 90% |
■솔더 레지스트 공정의 과제 해결
■기판에 변형이 있어도 필름 마스크가 조정
■고조도에 의한 높은 업무 처리량
위치 맞춤 정밀도(반복) | < 10㎛ | |
생산성 | 19초 + 노광시간 | |
최대기판사이즈 | W610 X L510mm | |
평행광광원 (초고압수은램프사용) |
광원 | 10kw, 램프 2개 |
조도 | > 80mw / ㎠ | |
평행반각 | ≤ 2.0° | |
경사각 | ≤ 1.5° | |
조도분포 | ≥ 90% |