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노광장치(Hakuto社)

Hap 1100ST

■솔더 레지스트 공정의 과제 해결

■기판에 변형이 있어도 필름 마스크가 조정

■고조도에 의한 높은 업무 처리량 

위치 맞춤 정밀도(반복)  < 10
생산성 19초 + 노광시간
최대기판사이즈 W610 X L510mm
평행광광원
(초고압수은램프사용)
광원 10kw, 램프 2개
조도 > 80mw / ㎠
평행반각 ≤ 2.0°
경사각 ≤ 1.5°
조도분포 ≥ 90%

 

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