노광장치(Hakuto社)
Hap 7020i
■FPC~RIGID 보드까지 폭넓게 대응
■종래 노광기에 비해 설치 면적 15%감소
■세로형 노광& down-blow로clean 환경 유지
| 위치 맞춤 정밀도(반복) | 3σ ＜ 10㎛ | |
| 생산성 | 17초 + 노광시간 | |
| 최대기판사이즈 | W640 X L540mm | |
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평행광광원
(초고압수은 램프사용) |
광원 | 5kw, 램프 1개 |
| 조도 | ＞ 30mw / ㎠ | |
| 평행반각 | ≤ 1.5° | |
| 경사각 | ≤ 1.5° | |
| 조도분포 | ≥ 90% | |
