노광장치(Hakuto社)
Hap 3550FX
■Sinlge Roll과 Double Roll 구비
■양면 동시 조정에 의해 표면의 정밀도 높음 위치 맞춤을 실현
■글라스마스크, 필름 마스크 사용이 가능
| Single Roll | Double Roll | ||
| 위치 맞춤 정밀도(반복) | 3σ ＜ 10㎛ | 3σ ＜ 10㎛ | |
| 생산성 | 18초 + 노광시간 | 9초 + 노광시간 | |
| 최대기판사이즈 | W550 X L650mm | W550 X L650mm | |
| 평행광광원 (초고압수은램프사용) |
광원 | 5kw, 램프 1개 | 5kw, 램프 2개 |
| 조도 | ＞ 35mw / ㎠ | ＞ 35mw / ㎠ | |
| 평행반각 | ≤ 1.5° | ≤ 1.5° | |
| 경사각 | ≤ 1.5° | ≤ 1.5° | |
| 조도분포 | ≥ 90% | ≥ 90% | |
