이온 빔 밀링 장비(Hakuto社)
20IBE-J
· 20cm카우프만 형 이온 소스 탑재
· 기판사이즈・매수: ∅4인치X12매, ∅5인치 X10매, ∅6인치X8매 등
· 자전 공전 운동을 하는planetary스테이지를 채용해, 양호한 균일성을 실현
| 이온소스 | 타입 | 카우프만형 |
| 이온빔 전압 | 300～800V(상용), 300～1000V(최대) | |
| 이온빔 전류 | 400mA(상용), 800mA(최대) | |
| 진공배기계 | 주배기용 펌프 | 크라이오펌프(표준), 터보분자펌프(옵션) |
| 일차 펌프 | 회전식 펌프(표준), 드라이펌프(옵션) | |
| GATE 밸브 | 자동조작 또는 수동조작(변환가능) | |
| 기판홀더 스테이지 | 샘플사이즈 | ～8인치 웨이퍼까지 탑재가능 |
| (예)φ4"×12매,φ6"×8매,φ8"×4매 | ||
| 이온빔 입사각 | 0도～±90도 | |
| 냉각방식 | 직접냉각 |
