HOME > 제품소개 > 전기・전자기계

이온 빔 밀링 장비(Hakuto社)

7.5IBE

·         연구 개발용 소형 모델이지만, 충분한 기능을 보유

·         카우프만형 이온소스 탑재  

이온소스 타입 카우프만형
이온빔 전압 200-900V (상용), 100-1200V (최대)
이온빔 전류 100mA (상용), 250mA (최대)
진공배기계 주배기용 펌프 터보 분자 펌프
일차 펌프 회전식  펌프(표준), 드라이 펌프(옵션)
Gate 밸브 자동 조작 또는 수동 조작(변환가능)
기판홀더 스테이지 샘플 사이즈 1～4인치 웨이퍼까지 탑재가능
이온 빔 입사각 0도～±90도
냉각방식 직접냉각
첨부파일 :

 

제품목록