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NEC

PIMS

 

■ ECR이온소스 사용해 CO2에서 직접 빔을 생성 가능

■ 샘플 전처리(흑연) 필요없음

■ 기존 AMS장치에 비해 매우 컴팩트

■ 음극을 사용하지 않음

■ ECR 이원소스는 셀프 클리닝

 

첨부파일 : 【NEW】PIMS紹介.pdf

 

 

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